ГОСТ Р 8.716-2010
Скачать ГОСТ Р 8.716-2010 Государственная система обеспечения единства измерений. Рефлектометры экстремального ультрафиолетового излучения для измерений характеристик многослойных наноструктур в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм. Методика измерений
Категории ГОСТ Р 8.716-2010 по ОКС:- Статус документа:
- действует
- Назначение ГОСТ Р 8.716-2010:
- Настоящий стандарт распространяется на средства измерений характеристик многослойных наноструктур в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм - рефлектометры экстремального вакуумного ультрафиолетового излучения, предназначенные для измерения коэффициентов зеркального и диффузного отражения, и устанавливает методику измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражения. ЭУФ рефлектометры обеспечивают в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм измерение коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне значений от 0,01 до 0,99. В качестве источников непрерывного ЭУФ излучения используют электронные накопительные кольца. В качестве источников импульсного ЭУФ излучения используют открытые излучатели на основе капиллярного разряда с испаряющейся стенкой или плазменного фокуса, а также электронные синхротроны. В качестве приемников ЭУФ излучения используют солнечно-слепые фотодиоды на основе многослойных наноструктур
- Поправки и изменения к ГОСТ Р 8.716-2010
- стандарт не имеет поправок
Доступные для скачивания версии ГОСТ Р 8.716-2010:
В данный момент версий документа для скачивания не добавлено.
Мы стараемся пополнять базу документов еженедельно и из разных источников, в обозримом будущем версии для этого ГОСТа появятся.
.